激光光束参数测试方法光束位置稳定性 ISO 11670测试

ISO 11670:2003标准全称为《激光和激光相关设备 - 激光束参数测试方法 - 光束位置稳定性》（Lasers and laser-related equipment — Test methods for laser beam parameters — Beam positional stability）。该标准规定了确定激光束位置和角度稳定性的方法，旨在用于激光器的测试和表征。

主要测试项目

1、光束位置稳定性（Beam positional stability）：

测试激光束在空间中的位置是否稳定不变，这对于激光加工、激光切割、激光打标等应用非常重要。

通过位置敏感探测器测量激光束质心的位置变化，并计算其标准偏差。

2、光束指向稳定性（Beam pointing stability）：

评估激光束的方向是否保持稳定，这对于确保加工效果和质量至关重要。

在聚焦元件的焦平面上测量激光束质心的位置变化，并计算其标准偏差。

3、测试方法：

测量布置：确保激光束和测量系统的光轴同轴，光学系统的孔径应能够容纳整个激光束截面。

环境控制：测试平台或支撑系统应具有比被测激光更高的光机械稳定性，避免外部或系统误差。

探测系统：使用位置敏感探测器来确定激光束质心的位置。

4、数据处理与评估：

从测量数据中计算光束位置稳定性和光束指向稳定性，通常使用均方根误差（RMS）来表示。

适用范围

该标准适用于需要评估激光束位置和角度稳定性的各种激光器。